凱美特氣光刻氣或成ASML供應(yīng)商 國內(nèi)電子特氣廠商遇良機

• 黃江 2023年2月6日 來源：新浪 641 37
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根據(jù)產(chǎn)業(yè)研究院的統(tǒng)計2020年中國電子特氣應(yīng)用市場結(jié)構(gòu)，集成電路制造占比最高，約占總體電子特氣市場的44%。顯示面板領(lǐng)域占比約35%，太陽能電池領(lǐng)域占比約13%，LED及其他領(lǐng)域占比約8%。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，電子特氣的種類、數(shù)量仍在不斷增加。

電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。電子特種氣體(即電子特氣)又主要包括惰性氣體，硅族氣體，鹵化物或鹵化物氣體，含硼、磷、砷等原子的氣體，以及氟碳氣體，種類繁多。在整個半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，所以電子氣體又有半導(dǎo)體材料的“糧食”之稱。

凱美特氣光刻氣或成ASML供應(yīng)商

湖南凱美特氣體股份有限公司 (以下簡稱 " 凱美特氣 ")發(fā)布公告稱，公司控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司(以下簡稱 " 岳陽凱美特 ")光刻氣產(chǎn)品獲得 ASML 子公司 Cymer 公司合格供應(yīng)商認(rèn)證。

根據(jù)公告，岳陽凱美特生產(chǎn)于 2 月 2 日收到 Cymer 公司發(fā)來的合格供應(yīng)商認(rèn)證函，岳陽凱美特生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過了 Cymer 公司審查，Cymer 公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應(yīng)商名單。

資料顯示，ASML 子公司 Cymer 是世界領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光源提供商，是深紫外技術(shù)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，是 ASML 集團內(nèi)一家獨立運營的企業(yè)。

Cymer 公司發(fā)明了如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所需的深紫外(DUV)光源，開發(fā)、制造和服務(wù)深紫外(DUV)光源。

產(chǎn)品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產(chǎn)生深紫外光的準(zhǔn)分子激光器。

凱美特氣表示，公司光刻氣產(chǎn)品通過 Cymer 公司的合格供應(yīng)商認(rèn)證，是 Cymer 公司對公司在光刻氣生產(chǎn)領(lǐng)域的生產(chǎn)能力、產(chǎn)品質(zhì)量的認(rèn)可，也是公司先進的產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)、鋼瓶內(nèi)壁處理技術(shù)、氣體分析技術(shù)等各方面綜合實力、競爭優(yōu)勢的體現(xiàn)。

國內(nèi)電子特氣廠商遇良機

電子特氣在集成電路、顯示面板、化合物半導(dǎo)體器件等電子工業(yè)生產(chǎn)中是不可或缺的原材料。根據(jù)產(chǎn)業(yè)研究院的統(tǒng)計2020年中國電子特氣應(yīng)用市場結(jié)構(gòu)，集成電路制造占比最高，約占總體電子特氣市場的44%。顯示面板領(lǐng)域占比約35%，太陽能電池領(lǐng)域占比約13%，LED及其他領(lǐng)域占比約8%。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，電子特氣的種類、數(shù)量仍在不斷增加。

電子氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程工藝，電子大宗氣體通常用于氣體稀釋、腔體清潔、腔體排氣等環(huán)節(jié)。不同類型的電子特氣根據(jù)不同的物理化學(xué)性質(zhì)應(yīng)用于不同的工藝環(huán)節(jié)，包括沉積、光刻、刻蝕、擴散、退火等關(guān)鍵工序?？梢哉f，電子氣體幾乎用于集成電路制造的每一個環(huán)節(jié)，是集成電路制造的血液。

電子氣體的生產(chǎn)過程包括分析檢測、合成、提純、充裝、混合配比等多個工藝流程。為了滿足下游半導(dǎo)體制造的純度和雜質(zhì)含量要求，提純工藝非常重要，根據(jù)上游合成氣或原料氣組成，進行低溫精餾或多級純化。

在氣體制備過程中，需要同時滿足高潔凈度、高密封性、高穩(wěn)定可靠性的要求。潔凈度方面，上游合成制備屬于化工生產(chǎn)過程，無特殊潔凈度要求，氣體經(jīng)過提純后，進行氣體沖入和混合制備需要滿足下游集成電路制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。密封性方面，由于具有化學(xué)活性，電子氣體，尤其是電子特氣在生產(chǎn)過程中對系統(tǒng)材料與半導(dǎo)體制造要求保持一致，防止引入雜質(zhì)或氣體腐蝕引起泄漏、污染等危害。穩(wěn)定可靠性方面，電子特氣的品質(zhì)指標(biāo)包括純度、雜質(zhì)顆粒含量等，指標(biāo)的任何變化都會影響下游半導(dǎo)體制造的結(jié)果。因此，為保證電子特氣產(chǎn)品的一致性，對氣體制備工藝系統(tǒng)的控制指標(biāo)穩(wěn)定性要求也非常重要。

在氣體經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)或經(jīng)過物理提純后，充裝至鋼瓶、儲罐等容器后銷售給下游客戶。

根據(jù)中研普華研究院《2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預(yù)測報告》顯示：

從產(chǎn)業(yè)鏈來看，工業(yè)氣體行業(yè)的原材料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等，其上游是氣體分離及純化設(shè)備制造業(yè)、基礎(chǔ)化學(xué)原料行業(yè)、壓力容器設(shè)備制造業(yè)等。下游領(lǐng)域包括冶金、化工、機械制造等傳統(tǒng)行業(yè)，以及半導(dǎo)體、顯示面板、LED、光伏、醫(yī)療健康、光纖光纜等新興行業(yè)。

電子氣體是現(xiàn)代工業(yè)之基石，被譽為晶圓制造之 " 血液 "，下游廣泛應(yīng)用于集成電路、面板、醫(yī)療、光纖等新興行業(yè)和冶金、化工等傳統(tǒng)行業(yè)。

電子特氣在半導(dǎo)體晶圓制造應(yīng)用中占比約 70%，其次是面板顯示市場占比約 20%。

除此之外，電子特氣還廣泛應(yīng)用于 LED、太陽能電池、醫(yī)療健康等領(lǐng)域。

在集成電路等高端領(lǐng)域，電子氣體被液化空氣集團、林德集團、大陽日酸、日本昭和電工等國外氣體公司壟斷，國內(nèi)廠商市場份額較小。

然而，近年來，隨著全球晶圓廠的加速擴建以及產(chǎn)能的逐步釋放，下游市場對電子特種氣體的需求廣闊。

另外，隨著中國半導(dǎo)體制造的崛起，也加速推動了半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進程。

有數(shù)據(jù)顯示，2017-2021 年，中國特種氣體市場規(guī)模從 175 億元增至 342 億元，年復(fù)合增速達 18%，預(yù)計到 2026 年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將達到 808 億元，2021-2026 年復(fù)合增長率為 18.76%。

據(jù)悉，凱美特氣并否國內(nèi)首家獲得 ASML 認(rèn)證的電子特氣廠商，在此之前，國內(nèi)另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發(fā)的 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne4 種混合氣已于 2017 年得到 ASML 的認(rèn)證。

此外，國內(nèi)上市公司杭氧股份、金宏氣體、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領(lǐng)域。

《2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預(yù)測報告》由中研普華研究院撰寫，本報告對該行業(yè)的供需狀況、發(fā)展現(xiàn)狀、行業(yè)發(fā)展變化等進行了分析，重點分析了行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀、如何面對行業(yè)的發(fā)展挑戰(zhàn)、行業(yè)的發(fā)展建議、行業(yè)競爭力，以及行業(yè)的投資分析和趨勢預(yù)測等等。報告還綜合了行業(yè)的整體發(fā)展動態(tài)，對行業(yè)在產(chǎn)品方面提供了參考建議和具體解決辦法。

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  2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預(yù)測報告

  電子特種氣體（簡稱電子特氣），是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。在整個半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，而且所...

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