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光刻機(jī)光學(xué)市場(chǎng)分析

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光刻機(jī)光學(xué)的主要供應(yīng)商有蔡司、尼康、佳能,蔡司為絕對(duì)市場(chǎng)龍頭。1)ASML的光刻機(jī)光學(xué)部件主要由CarlZeissSMTGmbH供應(yīng)

光刻機(jī)光學(xué)市場(chǎng)概述

一、光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)主要光學(xué)部件【物鏡、反射鏡、偏振器等】

二、全球光刻機(jī)光學(xué)部件市場(chǎng)規(guī)模

光刻機(jī)光學(xué)部件指直接參與光的傳輸和處理過(guò)程精密零部件。一臺(tái)光刻機(jī)主要由以下系統(tǒng)組成:光學(xué)系統(tǒng)、曝光光源系統(tǒng)、雙工作臺(tái)、浸沒(méi)系統(tǒng)、微電子系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、精密機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等。其中光學(xué)系統(tǒng)主要組成部分為光刻機(jī)的物鏡系統(tǒng),一般由15-20個(gè)直徑為200~300mm的透鏡組成,用以補(bǔ)償光源通過(guò)掩模版照射到附有光刻膠的硅片表面時(shí)產(chǎn)生的光學(xué)誤差,除此之外光學(xué)系統(tǒng)還包括反射鏡、偏振器、濾光片、光闌等。光學(xué)系統(tǒng)是光刻機(jī)的核心,光刻機(jī)的最小工藝節(jié)點(diǎn)越小,對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的精度要求越高,同時(shí)價(jià)格更加昂貴,推高了第五代光刻機(jī)EUV的造價(jià)與售價(jià)。2023年全球光刻機(jī)光學(xué)部件市場(chǎng)規(guī)模為35億美元。

三、中國(guó)境內(nèi)光刻機(jī)光學(xué)部件市場(chǎng)規(guī)模

2023年中國(guó)光刻機(jī)光學(xué)部件市場(chǎng)規(guī)模為5億美元。蔡司僅向ASML供應(yīng)半導(dǎo)體光學(xué)部件,且ASML為其光刻機(jī)光學(xué)單一客戶(hù)。

四、光刻機(jī)光學(xué)部件主要競(jìng)爭(zhēng)市場(chǎng)分析

光刻機(jī)光學(xué)的主要供應(yīng)商有蔡司、尼康、佳能,蔡司為絕對(duì)市場(chǎng)龍頭。1)ASML的光刻機(jī)光學(xué)部件主要由CarlZeissSMTGmbH供應(yīng),且單位光學(xué)價(jià)值最高的EUV光學(xué)部件僅有蔡司有供應(yīng)能力;2)尼康在光學(xué)制造上從原材料到成品全流程生產(chǎn),鏡片、鏡頭、反光鏡均自行研發(fā),此外,還獨(dú)自開(kāi)發(fā)了組裝微調(diào)試技術(shù)以確保穩(wěn)定的光學(xué)性能。3)佳能和尼康業(yè)務(wù)模式較為類(lèi)似,都憑相機(jī)與鏡頭發(fā)家,并逐漸涉足光刻設(shè)備領(lǐng)域,其光學(xué)組件主要自行供應(yīng)。4)由于蔡司為ASM的光刻機(jī)光學(xué)獨(dú)供,ASM占有約82%的市場(chǎng)份額,估算蔡司在光刻機(jī)光學(xué)的市場(chǎng)份額也在80%以上,為絕對(duì)龍頭。

五、國(guó)產(chǎn)化率情況

光學(xué)部件是光刻機(jī)的核心組成部分之一,對(duì)于光刻機(jī)的性能和質(zhì)量具有決定性的影響。然而,由于國(guó)內(nèi)在光學(xué)材料、光學(xué)設(shè)計(jì)、光學(xué)加工等方面的技術(shù)水平和生產(chǎn)能力相對(duì)較弱,導(dǎo)致光刻機(jī)光學(xué)部件的國(guó)產(chǎn)化率較低。

投影物鏡介紹

一、物鏡系統(tǒng)為最主要光學(xué)部件

投影物鏡系統(tǒng)被比作光刻機(jī)的“心臟”,是典型的超精密光學(xué)系統(tǒng)。投影物鏡系統(tǒng)的功能是至少將穿過(guò)掩模版圖案產(chǎn)生的1階衍射光收進(jìn)物鏡內(nèi),并以一定比例縮小聚焦到預(yù)涂光刻膠的晶圓上,主要由各類(lèi)光學(xué)元件組成,其性能的高低直接決定了光刻機(jī)的分辨率及套刻精度。為了實(shí)現(xiàn)更大NA、減少像差,投影物鏡要求:1)物鏡直徑大;2)更多的透鏡組合;3)精密光學(xué)加工、鍍膜和測(cè)量工藝制作。如今,ASML的先進(jìn)DUV設(shè)備,投影物鏡高度>1m,直徑>0.4m,物鏡內(nèi)各種鏡片的數(shù)量>15片,典型的投影物鏡包含近30塊鏡片,60個(gè)光學(xué)表面,最大直徑達(dá)0.8m。

二、投影物鏡成像問(wèn)題

光學(xué)鏡片投影過(guò)程中存在因透鏡結(jié)構(gòu)、光線(xiàn)波長(zhǎng)等因素造成的球差、彗差、散焦、場(chǎng)曲、色差等問(wèn)題。隨著光刻機(jī)的數(shù)值孔徑增大,分辨率下降,為了能刻蝕盡可能精細(xì)的線(xiàn)條,在物鏡實(shí)際工作過(guò)程中,全視場(chǎng)的波前像差均方根至少要小于0.07入,像面彎曲要求小于幾十納米,畸變也不能超過(guò)幾納米?;诓煌南癫?、色差等問(wèn)題,光刻工藝對(duì)投影物鏡的制作提出更高的要求。

三、投影物鏡像差補(bǔ)償

由于單片投影物鏡存在球差、色差等問(wèn)題,因此在實(shí)際應(yīng)用中,需要通過(guò)組合投影物鏡進(jìn)行糾正。隨著數(shù)值孔徑的增加,分辨率達(dá)到衍射極限,所以對(duì)于像差的精準(zhǔn)度也相應(yīng)提高,包括了對(duì)環(huán)境控制,冷鏡頭/熱鏡頭的像差補(bǔ)償,鏡頭表面平整度等的極致要求。

四、投影物鏡縮小像差的措施

采用非球面元件、浸沒(méi)式裝置、引入反射元件。193nmDUV投影物鏡的發(fā)展經(jīng)歷了三次技術(shù)飛躍:1)采用非球面元件,起初為全球面結(jié)構(gòu),NA<0.8,引入非球面后,在不改變物鏡口徑的情況下,NA提升至0.9;2)引入浸沒(méi)式系統(tǒng),使NA達(dá)到1.07;3)引入反射鏡,采用折反式光學(xué)系統(tǒng),配合浸沒(méi)式,將NA提升到1.3以上。此外,研究新的光學(xué)材料和浸沒(méi)液可以進(jìn)一步提高NA,但材料對(duì)深紫外光的吸收嚴(yán)重,可用作透鏡的材料有限,主要有融石英和CaF2,融石英技術(shù)成熟且熱膨脹系數(shù)低,是DUV的首選,CaF2加工難度大,成本昂貴,但會(huì)在鏡頭特定位置添加CaF2校正系統(tǒng)色差。

投影物鏡市場(chǎng)概述

一、投影物鏡加工壁壘極高

投影物鏡加工壁壘極高,僅極少數(shù)國(guó)際頂級(jí)光學(xué)公司掌握,ZEISS是ASML關(guān)鍵光學(xué)元件的獨(dú)家供應(yīng)商。頂級(jí)單反相機(jī)鏡頭加工產(chǎn)生的像差在200nm以上,而ASML的ArFDUV投影物鏡像差在2nm內(nèi)。高端光刻機(jī)鏡頭的價(jià)值量接近0.6億美元,成本占比大。

二、投影物鏡最新研究進(jìn)展

High-NA接力支撐邏輯制程演進(jìn),降本增效。UV光源發(fā)展到13.5nm的極紫外后,光學(xué)光刻已接近極限,下一代光源演進(jìn)只能向X射線(xiàn)發(fā)展,ASML早在2015年前就開(kāi)始研發(fā)高數(shù)值孔徑(0.55NA)的EUV平臺(tái)。相較于0.33NA的光刻機(jī),High-NA光刻機(jī)可以將分辨率提高70%,支撐3nm及以下節(jié)點(diǎn)的繼續(xù)發(fā)展,將工藝步驟數(shù)簡(jiǎn)化33%,圖形化成本降低42%。與此同時(shí),最后一面反射鏡的直徑擴(kuò)大到1.2m,質(zhì)量也明顯增加。ASML的High-NAEUV產(chǎn)品計(jì)劃于2024年交付。

三、EUV物鏡系統(tǒng)現(xiàn)狀

EUV物鏡系統(tǒng)為全反射結(jié)構(gòu),拋光和鍍膜為關(guān)鍵工藝。EUV光波長(zhǎng)13.5nm,極易被材料(包括空氣)吸收,必須在真空條件下運(yùn)行,且照明系統(tǒng)和投影物鏡系統(tǒng)均為全反射鏡片。其中EUV物鏡系統(tǒng)由6片布拉格反射鏡組成,重約2噸,共2萬(wàn)個(gè)parts。反射鏡表面鍍有Mo/Si多層膜結(jié)構(gòu),最高有100層堆疊,通過(guò)多層膜實(shí)現(xiàn)更高的反射效率,ZEISS與FraunhoferlOF研究所共同研發(fā)獨(dú)特的鍍膜系統(tǒng),使反射率達(dá)到70%。嚴(yán)苛的光學(xué)精度要求,ZEISS遙遙領(lǐng)先,國(guó)內(nèi)茂萊光學(xué)正在發(fā)力。由于全反射系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求光束相互避讓?zhuān)`差容忍度低,對(duì)光學(xué)元件加工的要求非常高。新一代EUV光刻機(jī)的反射鏡的面形精度為PV<0.12nm,表面粗糙度<30pm,原子級(jí)別的光潔度,全球僅ZEISS能達(dá)到。國(guó)內(nèi)茂萊光學(xué)PV<30nm,表面面形RMS<5nm,表面粗糙度<0.5nm,供貨上海微電子,應(yīng)用于l線(xiàn)光刻機(jī)物鏡中。

投影物鏡市場(chǎng)現(xiàn)狀

一、蔡司一家獨(dú)大

光刻機(jī)光學(xué)部件指直接參與光的傳輸和處理過(guò)程精密零部件。一臺(tái)光刻機(jī)主要由以下系統(tǒng)組成:光學(xué)系統(tǒng)、曝光光源系統(tǒng)、雙工作臺(tái)、浸沒(méi)系統(tǒng)、微電子系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、精密機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等。其中光學(xué)系統(tǒng)主要組成部分為光刻機(jī)的物鏡系統(tǒng),一般由15-20個(gè)直徑為200-300mm的透鏡組成,用以補(bǔ)償光源通過(guò)掩模版照射到附有光刻膠的硅片表面時(shí)產(chǎn)生的光學(xué)誤差,除此之外光學(xué)系統(tǒng)還包括反射鏡、偏振器、濾光片、光闌等。光學(xué)系統(tǒng)是光刻機(jī)的核心,光刻機(jī)的最小工藝節(jié)點(diǎn)越小,對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的精度要求越高,同時(shí)價(jià)格更加昂貴,推高了第五代光刻機(jī)EUV的造價(jià)與售價(jià)。

光刻機(jī)光學(xué)的主要供應(yīng)商有蔡司、尼康、佳能,蔡司為絕對(duì)市場(chǎng)龍頭。1)ASML的光刻機(jī)光學(xué)部件主要由CarlZeissSMTGmbH供應(yīng),且單位光學(xué)價(jià)值最高的EUV光學(xué)部件僅有蔡司有供應(yīng)能力;2)尼康在光學(xué)制造上從原材料到成品全流程生產(chǎn),鏡片、鏡頭、反光鏡均自行研發(fā),此外,還獨(dú)自開(kāi)發(fā)了組裝微調(diào)試技術(shù)以確保穩(wěn)定的光學(xué)性能。3)佳能和尼康業(yè)務(wù)模式較為類(lèi)似,都憑相機(jī)與鏡頭發(fā)家,并逐漸涉足光刻設(shè)備領(lǐng)域,其光學(xué)組件主要自行供應(yīng)。4)由于蔡司為ASM的光刻機(jī)光學(xué)獨(dú)供,ASM占有約82%的市場(chǎng)份額,我們估算蔡司在光刻機(jī)光學(xué)的市場(chǎng)份額也在80%以上,為絕對(duì)龍頭。

二、國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)

光刻機(jī)技術(shù)的一大難點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)精確成像。光學(xué)投影式光刻的原理是將掩模版上的圖案經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)投影后縮小再曝光到硅片上。精確成像即使得硅片上的成像盡可能地與實(shí)際成像的差距相近,由于單個(gè)透鏡本身的光學(xué)特性會(huì)導(dǎo)致原始圖像的失真,故而要靠不同透鏡的組合來(lái)修正圖像的形變。對(duì)于ASML光刻機(jī)的投影物鏡來(lái)說(shuō),也同樣需要以各種透鏡組合來(lái)修正成像質(zhì)量。DUV光刻機(jī)的投影物鏡的高度超過(guò)1米,直徑大于40厘米,物鏡內(nèi)各種鏡片的數(shù)量超過(guò)15片。目前市面上最高級(jí)的單反相機(jī)加工產(chǎn)生的像差在200nm以上,而ASML的DUV高端投影物鏡的像差則被控制在2nm內(nèi)。最高級(jí)別的單反鏡頭可支持全畫(huà)幅6千萬(wàn)像素分辨率,而ASML的投影物鏡的分辨率則可支持1千6百億畫(huà)素。四大途徑縮小像差,設(shè)計(jì)、材料、工藝、組裝缺一不可:1)需采用折射率不同的材料組成復(fù)合透鏡:復(fù)合透鏡由兩個(gè)或多個(gè)折射率不同的材料組成,一般而言,必須使用大尺寸的正透鏡和小尺寸的負(fù)透鏡以滿(mǎn)足佩茨瓦爾條件,即投影物鏡各光學(xué)表面的佩茨瓦爾數(shù)為零。透鏡尺寸的增加將消耗更多的透鏡材料,大大提高物鏡的成本;而小尺寸的負(fù)透鏡使控制像差。故而選擇合適的材料和設(shè)計(jì)透鏡的形狀和曲率是光刻機(jī)光學(xué)供應(yīng)商的制造難點(diǎn)之一。2)選擇合適且高質(zhì)量的涂層材料:光學(xué)涂層可以調(diào)節(jié)鏡頭表面的反射和透射特性,從而減小反射和散射,降低像差。由于較短的波長(zhǎng)和更高的能量,光學(xué)涂層的要求非常嚴(yán)格,需要具有高透射率和低散射率,涂層通常由幾十層不同材料的薄膜堆積而成,每層膜的厚度和折射率都被精確地控制,以實(shí)現(xiàn)所需的光學(xué)性能。選擇合適且高質(zhì)量的涂層材料是光刻機(jī)光學(xué)供應(yīng)商的制造難點(diǎn)之一。3)通過(guò)采用多片可動(dòng)鏡片:即自適應(yīng)光學(xué)技術(shù),可根據(jù)需要?jiǎng)討B(tài)地調(diào)整鏡頭的形狀和曲率,來(lái)消除鏡頭組裝及光刻生產(chǎn)等過(guò)程中所產(chǎn)生的各種像差。4)要求更高的投影物鏡的偏振控制性能:在引入偏振光照明后,在數(shù)值孔徑不斷增大的情況,保持視場(chǎng)大小及偏振控制性能,并嚴(yán)格控制像差和雜散光,是設(shè)計(jì)投影物鏡面臨的難題。這要求投影物鏡由更高質(zhì)量的光學(xué)材料制成,具有高精度的制造和安裝要求。此外,還需要更精密的光學(xué)設(shè)計(jì)和測(cè)試,對(duì)光刻機(jī)的環(huán)境和參數(shù)進(jìn)行精確的控制和調(diào)節(jié)。

超精密光學(xué)部件國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)。1)鏡片面形精度是描述鏡片表面形狀偏差的一種參數(shù)。PV表示“Peak-to-Valley”的縮寫(xiě),即峰一谷值,通過(guò)測(cè)量鏡片表面的最高點(diǎn)與最低點(diǎn)之間的距離來(lái)計(jì)算,反映了鏡片表面的波動(dòng)情況,PV值越小,則表示表面形狀越接近理想形狀,鏡片的成像質(zhì)量也會(huì)越好。2)表面光潔度指標(biāo)表示光學(xué)元件表面疵病,用于描述允許接受的劃痕、點(diǎn)子、氣泡等瑕疵在表面上的大小和數(shù)量。20/10表示表面允許存在直徑為20微米的瑕疵不超過(guò)10個(gè)。3)國(guó)產(chǎn)的物鏡系統(tǒng)已實(shí)現(xiàn)了工藝上的突破,如茂萊光學(xué)生產(chǎn)的超精密物鏡系統(tǒng)用光學(xué)器件已實(shí)現(xiàn)搭載在i-line光刻機(jī)上,但其工藝相比蔡司供給ASML的EUV光學(xué)物鏡系統(tǒng)在面型精度、表面光潔度指標(biāo)等方便仍有較大差距,超精密光學(xué)部件國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)。

光學(xué)加工技術(shù)體現(xiàn)了光刻機(jī)光學(xué)企業(yè)底層競(jìng)爭(zhēng)力與核心能力。1)要生產(chǎn)制造高面形精度、高光潔度、低反射率的光學(xué)部件,在光學(xué)設(shè)計(jì)、材料選擇、加工工藝和后處理方面都十分關(guān)鍵。具體而言,光學(xué)設(shè)計(jì)確定光學(xué)元件的幾何形狀和光學(xué)特性,材料選擇根據(jù)設(shè)計(jì)要求選擇適合的材料,加工工藝與后處理將設(shè)計(jì)要求轉(zhuǎn)化為實(shí)際的加工和表面處理操作,以獲得所需的面形精度、表面光潔度和反射率。2)現(xiàn)有的先進(jìn)光學(xué)制造技術(shù)已不再是簡(jiǎn)單的光學(xué)加工,在原有的拋光技術(shù)、鍍膜技術(shù)、膠合技術(shù)和主動(dòng)裝調(diào)技術(shù)等精密光學(xué)制造技術(shù)的基礎(chǔ)上,還需要輔有復(fù)雜儀器系統(tǒng)設(shè)計(jì)及仿真、高端鏡頭優(yōu)化設(shè)計(jì)及模擬分析、自動(dòng)控制及信號(hào)采集系統(tǒng)設(shè)計(jì)及快速實(shí)施、圖像形態(tài)學(xué)/融合/超分辨/頻率域處理等圖像算法等計(jì)算機(jī)技術(shù),從而不斷突破各類(lèi)加工和檢測(cè)技術(shù),實(shí)現(xiàn)光學(xué)部件與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與制造??傊?,精密光學(xué)制造行業(yè)有一定的進(jìn)入壁壘,擁有更為先進(jìn)的精密加工技術(shù)的企業(yè)護(hù)城河高筑。

三、全球及中國(guó)境內(nèi)投影物鏡市場(chǎng)空間

2021-2023年全球投影物鏡市場(chǎng)規(guī)模由7.2億美元上升到9.3億美元,中國(guó)境內(nèi)投影物鏡市場(chǎng)規(guī)模由1.3億美元上升到1.8億美元。

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