ITO(Indium Tin Oxide，氧化銦錫)導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。
2020年ITO導(dǎo)電玻璃行業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展前景分析
ITO(Indium Tin Oxide，氧化銦錫)導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。在平板顯示產(chǎn)業(yè)中主要應(yīng)用在觸摸屏和液晶面板領(lǐng)域。觸摸屏領(lǐng)域應(yīng)用的是TP-ITO導(dǎo)電玻璃，而液晶面板領(lǐng)域應(yīng)用的是LCD-ITO導(dǎo)電玻璃，兩者的主要區(qū)別在LCD-ITO導(dǎo)電玻璃還會(huì)在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化硅阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴(kuò)散。高端LCD-ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進(jìn)行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。LCD-ITO導(dǎo)電玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。
ITO導(dǎo)電玻璃是一種既透明又導(dǎo)電的玻璃，它采用磁控濺射沉積成膜技術(shù)，以ITO材料作為濺射靶材，在玻璃基板上生成一層很薄的ITO膜。這層ITO膜同時(shí)具有良好的導(dǎo)電性和透光性，適于制作透明顯示電極，是平板顯示器生產(chǎn)的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm，它具有重量輕、透明度高、平整度高、有一定的機(jī)械硬度、容易切割加工等特點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于平板顯示器上。ITO導(dǎo)電玻璃隨著20世紀(jì)70年代初LCD顯示器的興起至今已經(jīng)歷了40多年的歷程，并從過(guò)去只能生產(chǎn)高電阻、小尺寸、普通表面、黑白顯示的產(chǎn)品，發(fā)展到了現(xiàn)在能夠生產(chǎn)低電阻、大尺寸、拋光表面、彩色顯示的產(chǎn)品。
早期的ITO導(dǎo)電玻璃是采用銦錫合金作為濺射靶材，通過(guò)氧化反應(yīng)而成膜的。此種靶材對(duì)濺射工藝控制有極其嚴(yán)格的要求，尤其是氧氣流量的稍許波動(dòng)，就可能形成氧化反應(yīng)不充分，而使膜層透過(guò)率和蝕刻性能變差;或因氧氣流量較大，而造成靶面“中毒”，使濺射效率下降，從而使膜層變薄、電阻升高。鑒于此，材料商開發(fā)出了氧化靶，即將高純度的氧化銦和氧化錫超細(xì)粉末，按一定比例充分混合好，再采用粉末冶金工藝燒結(jié)成固體靶材。隨著制作工藝的不斷改進(jìn)，ITO靶材密度逐步提高，現(xiàn)在已達(dá)到99.5%以上，基本滿足了ITO導(dǎo)電玻璃的需要。ITO導(dǎo)電玻璃的性能指標(biāo)主要有基板玻璃的外形尺寸、表面電阻(或方塊電阻)、透光率、膜層厚度、蝕刻性能和可靠性等。
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2019-2025年中國(guó)ITO導(dǎo)電玻璃行業(yè)發(fā)展深度調(diào)研與投資趨勢(shì)預(yù)測(cè)研究報(bào)告
ITO（Indium Tin Oxide，氧化銦錫）導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工制作成的。在平板顯示產(chǎn)業(yè)中主要應(yīng)用在觸摸屏和液晶面...
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