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全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀:市場需求增速明顯

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展機遇大,如何驅(qū)動行業(yè)內(nèi)在發(fā)展動力?

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全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模的上漲主要得益于以下幾個方面:首先,隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、云計算等新興技術(shù)的發(fā)展,對高性能芯片的需求不斷增加,推動了半導(dǎo)體行業(yè)的整體增長;其次,半導(dǎo)體制造工藝持續(xù)向更高密度和更小尺寸發(fā)展,導(dǎo)致對清洗步驟和設(shè)備的技術(shù)要

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)簡介

半導(dǎo)體清洗設(shè)備是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備,其主要功能是去除硅片制造、晶圓制造和封裝測試過程中可能存在的各種雜質(zhì),如顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機物、犧牲層、拋光殘留物等,以避免這些雜質(zhì)影響芯片的良率和產(chǎn)品性能。隨著半導(dǎo)體制造工藝技術(shù)的不斷提升,芯片尺寸不斷縮小,對雜質(zhì)敏感度提升,清洗步驟也在不斷增加,90nm的芯片清洗工藝約90道,20nm的清洗工藝則達到了215道,目前清洗步驟占整個半導(dǎo)體工藝所有步驟約1/3,幾乎所有制作過程前后都需要清洗,為清洗設(shè)備帶來了廣闊的增長空間。

根據(jù)清洗介質(zhì)的不同,半導(dǎo)體清洗技術(shù)可以分為濕法清洗和干法清洗兩種。目前濕法清洗為主流的清洗技術(shù),占總清洗步驟的90%以上。濕法清洗是根據(jù)不同的工藝需求,主要是通過去離子水、清洗劑等對晶圓表面進行無損傷清洗,以去除晶圓制造過程中的雜質(zhì)。干法清洗是指不使用化學(xué)溶劑,采用氣態(tài)的氫氟酸刻蝕不規(guī)則分布的有結(jié)構(gòu)的晶圓二氧化硅層,雖然具有對不同薄膜有高選擇比的優(yōu)點,但可清洗污染物比較單一,目前主要在28nm及以下技術(shù)節(jié)點的邏輯產(chǎn)品和存儲產(chǎn)品有應(yīng)用。根據(jù)清洗方法的不同,濕法清洗包括溶液浸泡法、機械刷洗法、二流體清洗、超聲波清洗、兆聲波清洗、批式旋轉(zhuǎn)噴淋法六種方法,干法清洗包括等離子清洗、氣相清洗和束流清洗三種方法。

二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)分類

目前主流的濕法清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等,其中單片清洗設(shè)備市場份額占比最高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設(shè)備存在先進程度的區(qū)分,主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術(shù)等標(biāo)準(zhǔn)。


設(shè)備種類清洗方式應(yīng)用特點先進程度
單片清洗設(shè)備高壓噴淋、二流體清洗和兆聲波清洗微粒去除能力強,能夠避免晶圓之間交叉污染;但每個腔體每次僅能清洗單片晶圓,設(shè)備產(chǎn)能較低很高
槽式清洗設(shè)備溶液浸泡法、兆聲波清洗每個腔體能夠清洗多片晶圓,產(chǎn)能較高,適宜大批量生產(chǎn);但顆粒去除能力控制差,且容易引起交叉污染風(fēng)險
組合式清洗設(shè)備溶液浸泡法和旋轉(zhuǎn)噴淋組合清洗產(chǎn)能、清洗精度較高,并可大幅度降低硫酸使用量;但產(chǎn)品造價較高很高
批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備旋轉(zhuǎn)噴淋可實現(xiàn)120℃至200℃的高溫硫酸工藝要求;但各項工藝參數(shù)較難控制,晶圓破損后整個清洗腔內(nèi)的所有晶圓均有報廢風(fēng)險

三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)

中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)的產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)從上游到下游依次包括原材料和零部件供應(yīng)、中游的清洗設(shè)備設(shè)計與制造、以及下游的IC制造等應(yīng)用領(lǐng)域。上游環(huán)節(jié)主要涉及氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、安全保護裝置等關(guān)鍵零部件和系統(tǒng)的供應(yīng);中游環(huán)節(jié)則專注于半導(dǎo)體清洗設(shè)備的設(shè)計和制造,包括管路系統(tǒng)、恒溫系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)等核心組件的集成;下游環(huán)節(jié)是清洗設(shè)備的終端應(yīng)用,主要服務(wù)于IC制造等半導(dǎo)體生產(chǎn)過程,確保芯片制造過程中的清潔度要求得到滿足。

四、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模的上漲主要得益于以下幾個方面:首先,隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、云計算等新興技術(shù)的發(fā)展,對高性能芯片的需求不斷增加,推動了半導(dǎo)體行業(yè)的整體增長;其次,半導(dǎo)體制造工藝持續(xù)向更高密度和更小尺寸發(fā)展,導(dǎo)致對清洗步驟和設(shè)備的技術(shù)要求提高,增加了對先進清洗設(shè)備的需求;再者,全球晶圓廠的建設(shè)和擴建,尤其是中國大陸等地區(qū)的積極投資,帶動了對半導(dǎo)體設(shè)備,包括清洗設(shè)備的需求。數(shù)據(jù)顯示,2023年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模約為73億美元。

圖表:2021-2023年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

全球前五大廠分別是應(yīng)用材料、阿斯麥、東京電子、泛林科技和科天半導(dǎo)體,分別來自美國、日本和荷蘭。憑借完整的產(chǎn)業(yè)鏈和豐富的技術(shù)專利積累,美日歐等發(fā)達國家在半導(dǎo)體領(lǐng)域長期保持了全面領(lǐng)先。

全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場結(jié)構(gòu)主要由不同類型的清洗技術(shù)與設(shè)備組成,包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、批發(fā)螺旋噴淋清洗設(shè)備以及組合式清洗設(shè)備等,其中單片清洗設(shè)備因其高效率和適應(yīng)先進工藝的能力而占據(jù)市場主導(dǎo)地位,而槽式清洗和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備則以其成本效益和適合大批量生產(chǎn)的特點在市場中占有一席之地,組合式清洗設(shè)備則結(jié)合了單片和槽式清洗的優(yōu)勢,滿足了市場對高效率和高靈活性的雙重需求。

2024-2029年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場分析及發(fā)展前景預(yù)測報告》由中研普華產(chǎn)業(yè)研究院撰寫,本報告對該行業(yè)的供需狀況、發(fā)展現(xiàn)狀、行業(yè)發(fā)展變化等進行了分析,重點分析了行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀、如何面對行業(yè)的發(fā)展挑戰(zhàn)、行業(yè)的發(fā)展建議、行業(yè)競爭力,以及行業(yè)的投資分析和趨勢預(yù)測等等。報告還綜合了行業(yè)的整體發(fā)展動態(tài),對行業(yè)在產(chǎn)品方面提供了參考建議和具體解決辦法。

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