微系統(tǒng)，又稱微機電系統(tǒng)(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)，微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機電和微光電技術(shù)，通過系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法，將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接口等構(gòu)成一體化軟、硬件多功能集成，采用微納制造及微集成工藝實現(xiàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的微納尺度化。它被公認(rèn)為21世紀(jì)的革命性技術(shù)之一。
微系統(tǒng)具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等優(yōu)點。微系統(tǒng)技術(shù)上的新材料、新方法、新工藝等技術(shù)變革必將對軍民兩用的系統(tǒng)研發(fā)和制造帶來顛覆性影響。
近年來，微系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)發(fā)展迅速，微系統(tǒng)集成方法與工藝有了新的突破，微電子器件特征尺寸繼續(xù)減小，微處理器、微射頻器等性能進一步提升，碳化硅與氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料器件日益成熟并進入應(yīng)用階段，為微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展提供了有效支撐。
微傳感器是傳感技術(shù)微型化的基礎(chǔ)，是微系統(tǒng)的重要基礎(chǔ)技術(shù)。近年來，微傳感器性能不斷提升，可感知對象不斷豐富，在生物醫(yī)學(xué)及消費電子產(chǎn)品等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用，對各種傳感裝備的微型化發(fā)展起著巨大的推動作用。
微系統(tǒng)產(chǎn)品憑其優(yōu)質(zhì)的性能，廣泛應(yīng)用于智慧醫(yī)療、航空、消費電子、智慧物流等領(lǐng)域，行業(yè)的技術(shù)水平發(fā)展較好，產(chǎn)品附加值較高，凈利率較高。2019年上半年，微系統(tǒng)產(chǎn)品的凈利率約為10.24%，在大多數(shù)行業(yè)中處于中上水平。2019年上半年，中國微系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模約為267.5億元。
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2020-2025年微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)深度調(diào)研及發(fā)展現(xiàn)狀趨勢預(yù)測報告
微系統(tǒng)，又稱微機電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System），微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機電和微光電技術(shù)，通過系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法，將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接...
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微系統(tǒng)運營分析 2020年微系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展前景趨勢及現(xiàn)狀分析報告 
