能譜儀是用來對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。能譜儀利用發(fā)射出來的特征X射線能量不同而進(jìn)行的元素分析，稱為能量色散法。X射線能譜儀的主要構(gòu)成單元是Si(Li)半導(dǎo)體檢測(cè)器，即鋰飄移硅半導(dǎo)體檢測(cè)器和多道脈沖分析器。
能譜儀是用來對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
能譜儀利用發(fā)射出來的特征X射線能量不同而進(jìn)行的元素分析，稱為能量色散法。X射線能譜儀的主要構(gòu)成單元是Si(Li)半導(dǎo)體檢測(cè)器，即鋰飄移硅半導(dǎo)體檢測(cè)器和多道脈沖分析器。
能譜儀行業(yè)市場(chǎng)應(yīng)用現(xiàn)狀
目前還不能用于分析超輕元素(O、N、C等)。由于能譜儀中Si(Li)檢測(cè)器的Be窗口吸收超輕元素的X射線，故只能分析Na以后的元素。能譜儀結(jié)構(gòu)簡單，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和重現(xiàn)性較好。能譜儀主要的使用范圍為：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機(jī)或有機(jī)固體材料分析;2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定;3、可對(duì)固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測(cè);4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領(lǐng)域;5、進(jìn)行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點(diǎn)分布分析。
能譜儀作為電子顯微鏡的重要配件，從第一代的液氮制冷能譜儀誕生至今已有50多年的歷史。從牛津能譜儀的發(fā)展情況來看，其技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)主要在兩個(gè)方面，第一，電制冷已是能譜儀的一個(gè)發(fā)展方向，2010年牛津銷售的能譜儀中90%都采用的是電制冷技術(shù);第二，晶體面積越大，接受的X射線信號(hào)越多，可以加快分析速度，得到更準(zhǔn)確的結(jié)果。
在儀器使用過程中，用戶最為關(guān)注的是方法的準(zhǔn)確度與穩(wěn)定性。目前常用的方法是將國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的檢測(cè)強(qiáng)度與濃度擬合，擬合相關(guān)系數(shù)越接近1，說明方法越準(zhǔn)確。穩(wěn)定性則通過國家標(biāo)準(zhǔn)樣品連續(xù)測(cè)定結(jié)果的相對(duì)偏差進(jìn)行評(píng)定，偏差越小說明方法越穩(wěn)定。
在陜西省某環(huán)境監(jiān)測(cè)站E4型能譜儀的應(yīng)用中，針對(duì)20種元素，E4工作曲線擬合相關(guān)系數(shù)分布在在0.9321至0.9999之間，平均相關(guān)系數(shù)為0.9899。使用能譜儀對(duì)于16種常見土壤及水系沉積物國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)中20種元素進(jìn)行連續(xù)多次測(cè)量，連續(xù)檢測(cè)值標(biāo)準(zhǔn)偏差較小。以上實(shí)驗(yàn)證明了E4型能譜儀器具有較高的精度與良好的穩(wěn)定性。
X射線能譜儀的主要構(gòu)成單元是Si(Li)半導(dǎo)體檢測(cè)器，即鋰飄移硅半導(dǎo)體檢測(cè)器和多道脈沖分析器。目前還不能用于分析超輕元素(O、N、C等)。由于能譜儀中Si(Li)檢測(cè)器的Be窗口吸收超輕元素的X射線，故只能分析Na以后的元素。能譜儀結(jié)構(gòu)簡單，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和重現(xiàn)性較好。能譜儀是用來對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡。
能譜儀是電鏡的重要附件，現(xiàn)在電鏡市場(chǎng)每年都在以10%以上的速度在增長。牛津作為重要的能譜儀供應(yīng)商，其每年的增長速度超過了整個(gè)市場(chǎng)的增長速度，每年銷售額的增長都維持在20%以上。在電鏡市場(chǎng)，中國每年能銷售300-400臺(tái)掃描電鏡，透射電鏡也達(dá)到100臺(tái)左右。
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